Поиск по электронным документам
Найдено документов: 2
-
Авторы Горностай-Польский В. С.; Шевяков В. И. Выходные сведения 2022 Коллекция Общая коллекция Тематика Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; нитрид титана; МДП-структуры; пленки нитрида титана; газовые фазы; химическое осаждение; свойства пленок нитрида титана; плазменная обработка; titanium nitride; TIR structures; titanium nitride films; gas phases; chemical deposition; properties of titanium nitride films; plasma treatment УДК 621.382 ББК 32.852 Тип документа Статья, доклад Тип файла Другой Язык Русский DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-6-715-722 Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=49993425 -
Авторы Тимаков А. В.; Горностай-Польский В. С.; Шевяков В. И. Выходные сведения 2023 Коллекция Общая коллекция Тематика Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; обзоры; интегральные схемы; кремниевые ИС; высокотемпературные ИС; многоуровневая металлизация; вольфрам; высококачественные межсоединения (радиоэлектрника); reviews; integrated circuits; silicon ICS; high temperature OF; multilevel metallization; tungsten; high-quality interconnects (radio electronics) УДК 621.382 ББК 32.852 Тип документа Статья, доклад Тип файла Другой Язык Русский DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-2-164-179 Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=50767474
