Table | Card | RUSMARC | |
Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Объектом исследования являются тонкие пленки наноструктурированного гидрогенизированного аморфного кремния, полученные методом плазмо-химического осаждения (PECVD). Целью работы было изучение свойств этих пленок. В зависимости от параметров PECVD процесса проводились исследования ИК-Фурье спектрометрии, спектрометрической эллипсометрии, а так же с помощью установки для измерения темновой проводимости и энергии активации. В результате исследования установлено, что при увеличении давления газовой смеси происходит рост концентрации водорода и содержания изолированных SiH связей, также в объеме пленок происходит рост числа SiH₂ связей и нанокристаллитов. При увеличении мощности разряда также происходит рост концентрации водорода, числа SiH₂ связей и содержания нанокристаллитов в материале.
Document access rights
Network | User group | Action | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All | |||||
Internet | Authorized users SPbPU | |||||
Internet | Anonymous |
Usage statistics
Access count: 1118
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |