Детальная информация

Громов, Павел Юрьевич. Изучение свойств наноструктурированных пленок кремния, полученных методом плазмо-химического осаждения [Электронный ресурс]: магистерская диссертация / П.Ю. Громов; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 4,67 Мб). — Санкт-Петербург, 2014. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/4179.pdf>.

Дата создания записи: 23.06.2014

Тематика: Наноструктурные материалы; Пленки кремниевые; Плазмохимия

УДК: 539.216.2(043.3); 620.22-022.53(043.3)

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (4,7 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Объектом исследования являются тонкие пленки наноструктурированного гидрогенизированного аморфного кремния, полученные методом плазмо-химического осаждения (PECVD). Целью работы было изучение свойств этих пленок. В зависимости от параметров PECVD процесса проводились исследования ИК-Фурье спектрометрии, спектрометрической эллипсометрии, а так же с помощью установки для измерения темновой проводимости и энергии активации. В результате исследования установлено, что при увеличении давления газовой смеси происходит рост концентрации водорода и содержания изолированных SiH связей, также в объеме пленок происходит рост числа SiH₂ связей и нанокристаллитов. При увеличении мощности разряда также происходит рост концентрации водорода, числа SiH₂ связей и содержания нанокристаллитов в материале.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 922
За последние 30 дней: 61
Подробная статистика