Николаев, Владислав Александрович. Исследование высокочастотной плазменной технологии очистки кремния для производства солнечных батарей [Электронный ресурс]: магистерская диссертация / В.А. Николаев; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Институт энергетики и транспортных систем, Кафедра электротехники и электроэнергетики. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,75 Мб). — Санкт-Петербург, 2014. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/4815.pdf>.
Attention
Read is not available