Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа

Зуфаров, Вадим Марсельевич

Details

	Table	Card	RUSMARC

Title:	Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа
Creators:	Зуфаров Вадим Марсельевич
Organization:	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций. Физической электроники
Imprint:	Санкт-Петербург, 2015
Collection:	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
File type:	PDF
Language:	Russian
Rights:	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read Download (1.8 Mb) You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Проводится анализ частотных и температурных зависимостей диэлектрического отклика, подбор эквивалентных электрических схем и определение с их помощью основных параметров исследуемого материала. Исследуется влияние pin-hole эффекта на электрические свойства пленок и анализ DC-проводимости пленок различной толщины.

Document access rights

	Network		User group		Action
	FL SPbPU Local Network		All
	Internet		All

Document usage statistics

Document access count: 1677
Last 30 days: 27
Detailed usage statistics