Details

Title: Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа
Creators: Зуфаров Вадим Марсельевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций. Физической электроники
Imprint: Санкт-Петербург, 2015
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
File type: PDF
Language: Russian
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read Download (1.8 Mb) You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Проводится анализ частотных и температурных зависимостей диэлектрического отклика, подбор эквивалентных электрических схем и определение с их помощью основных параметров исследуемого материала. Исследуется влияние pin-hole эффекта на электрические свойства пленок и анализ DC-проводимости пленок различной толщины.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Document usage statistics

stat Document access count: 1677
Last 30 days: 27
Detailed usage statistics