Details
| Title | Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа |
|---|---|
| Creators | Зуфаров Вадим Марсельевич |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2015 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Document type | Other |
| Language | Russian |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\27419 |
| Record create date | 9/16/2015 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if administrator prepare required files
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Проводится анализ частотных и температурных зависимостей диэлектрического отклика, подбор эквивалентных электрических схем и определение с их помощью основных параметров исследуемого материала. Исследуется влияние pin-hole эффекта на электрические свойства пленок и анализ DC-проводимости пленок различной толщины.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
...
