Детальная информация

Название: Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа
Авторы: Зуфаров Вадим Марсельевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций. Физической электроники
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2015
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тип файла: PDF
Язык: Русский

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (1,8 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Локальная сеть ИБК СПбПУ

Аннотация

Проводится анализ частотных и температурных зависимостей диэлектрического отклика, подбор эквивалентных электрических схем и определение с их помощью основных параметров исследуемого материала. Исследуется влияние pin-hole эффекта на электрические свойства пленок и анализ DC-проводимости пленок различной толщины.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
-> Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 1647
За последние 30 дней: 30
Подробная статистика