Детальная информация

Зуфаров, Вадим Марсельевич. Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния [Электронный ресурс]: бакалаврская работа / В. М. Зуфаров; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Физической электроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,77 МБ). — Санкт-Петербург, 2015. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/6912.pdf>.

Дата создания записи: 16.09.2015

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (1,8 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Проводится анализ частотных и температурных зависимостей диэлектрического отклика, подбор эквивалентных электрических схем и определение с их помощью основных параметров исследуемого материала. Исследуется влияние pin-hole эффекта на электрические свойства пленок и анализ DC-проводимости пленок различной толщины.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 1451
За последние 30 дней: 24
Подробная статистика