Зуфаров, Вадим Марсельевич. Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния [Электронный ресурс]: бакалаврская работа / В. М. Зуфаров; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Физической электроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,77 МБ). — Санкт-Петербург, 2015. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/6912.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2015
|
Квартал 3
|
Сентябрь
|
7
|
0
|
6
|
0
|
13
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
5
|
0
|
8
|
0
|
13
|
|
Ноябрь
|
13
|
0
|
11
|
0
|
24
|
|
Декабрь
|
12
|
0
|
12
|
0
|
24
|
|
Год 2016
|
Квартал 1
|
Январь
|
10
|
0
|
5
|
0
|
15
|
|
Февраль
|
2
|
0
|
7
|
0
|
9
|
|
Март
|
5
|
0
|
3
|
0
|
8
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Май
|
2
|
0
|
6
|
0
|
8
|
|
Июнь
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Август
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
|
Сентябрь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
5
|
0
|
3
|
0
|
8
|
|
Ноябрь
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
7
|
0
|
9
|
|
Год 2017
|
Квартал 1
|
Январь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Март
|
3
|
0
|
9
|
0
|
12
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
10
|
0
|
11
|
|
Май
|
2
|
0
|
34
|
0
|
36
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
49
|
0
|
49
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
5
|
0
|
25
|
0
|
30
|
|
Август
|
3
|
0
|
48
|
0
|
51
|
|
Сентябрь
|
3
|
0
|
35
|
0
|
38
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
3
|
0
|
27
|
0
|
30
|
|
Ноябрь
|
3
|
0
|
58
|
0
|
61
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
49
|
0
|
51
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
43
|
0
|
43
|
|
Февраль
|
3
|
0
|
35
|
0
|
38
|
|
Март
|
1
|
0
|
27
|
0
|
28
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
5
|
0
|
37
|
0
|
42
|
|
Май
|
3
|
0
|
34
|
0
|
37
|
|
Июнь
|
4
|
0
|
64
|
0
|
68
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
98
|
0
|
98
|
|
Август
|
5
|
0
|
89
|
0
|
94
|
|
Сентябрь
|
8
|
0
|
37
|
0
|
45
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
4
|
0
|
44
|
0
|
48
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
27
|
0
|
27
|
|
Декабрь
|
1
|
0
|
31
|
0
|
32
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
Январь
|
3
|
0
|
19
|
0
|
22
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
35
|
0
|
36
|
|
Март
|
3
|
0
|
42
|
0
|
45
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
48
|
0
|
48
|
|
Май
|
3
|
0
|
56
|
0
|
59
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
56
|
0
|
57
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
33
|
0
|
34
|
|
Август
|
0
|
0
|
26
|
0
|
26
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
31
|
0
|
33
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
35
|
0
|
35
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
44
|
0
|
44
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
65
|
0
|
65
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
21
|
0
|
22
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
27
|
0
|
27
|
|
Март
|
6
|
0
|
13
|
0
|
19
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Всего
|
166
|
0
|
1 548
|
0
|
1 714
|
