Details
Title | Расчет функции рассеяния точки с учетом двулучепреломления и частичной когерентности освещения с использованием графических процессоров // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление: научное издание. – 2015. – |
---|---|
Creators | Никулина Екатерина Алексеевна |
Organization | Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики; Министерство образования и науки Российской Федерации |
Imprint | Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2015 |
Collection | Общая коллекция |
Subjects | Вычислительная техника; Компьютерная графика; Физика; Программирование ЭВМ. Компьютерные программы. Программотехника; Физическая оптика; графические процессоры; CUDA; двойное лучепреломление; фотолитографические системы; фотолитография; когерентность освещения; рассеяние света; рассеяние точки; поляризация |
UDC | 004.92; 004.41/.42; 535.2/.3 |
LBC | 32.973-018.2; 32.973-018; 22.343 |
Document type | Article, report |
File type | |
Language | Russian |
DOI | 10.5862/JCSTCS.229.3 |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\31223 |
Record create date | 3/25/2016 |
Рассмотрено применение метода представления комплексной амплитуды через суперпозицию плоских волн для учета влияния двулучепреломления в фотолитографических системах. Изображение в проходящем свете при частично когерентном освещении проводится по методу интегрирования по источнику. Показана вычислительная сложность предложенной методики, а также отмечены преимущества использования графических процессоров для решения такого рода задач. Описаны особенности использования графических процессоров для решения неграфических задач. Приведены оценки временных затрат при расчете по описанной методике с применением как графических, так и традиционных процессоров. Показаны результаты моделирования функции рассеяния точки в различных условиях.
This paper considers an application of the method of representing a complex amplitude as a superposition of plane waves to take birefringence in photolithographic systems into account. The image in transmitted light under partially coherent lighting is conducted according to the source integral method. This paper shows the computational costs of the proposed method, also mentioning the benefits of GPU computation for problem-solving of this type. Special aspects of GPU computation for non-graphical problem-solving aredescribed. This paper introduces estimates of span time in case of computation by means of the mentioned method with GPU as well as CPU. This paper shows the results of simulating the point-spread function under different conditions.
Access count: 802
Last 30 days: 11