Details
Title | Исследование процесса термической диссоциации нитрида галлия при воздействии инфракрасного лазерного излучения: автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 |
---|---|
Creators | Вирко Максим Викторович |
Scientific adviser | Шретер Юрий Георгиевич |
Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
Imprint | Санкт-Петербург, 2017 |
Collection | Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция |
Subjects | Галлий, нитриды; Полупроводниковые структуры; Полупроводниковые пленки — Получение; Генераторы квантовые — Применение |
UDC | 539.23(043.3); 537.311.322(043.3); 621.373.8(043.3) |
Document type | Author's Abstract |
File type | |
Language | Russian |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/r18-5 |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\51647 |
Record create date | 2/13/2018 |
В диссертационной работе проведено исследование физических процессов, происходящих при отделении тонких слоев GaN от ростовой подложки применительно к задаче разработки технологии клонирования подложек GaN. Теоретически показано и экспериментально подтверждено, что эффект поглощения излучения свободными носителями заряда в пленках GaN и фононами в сапфировых подложках может быть использован для отделения структур на основе GaN от ростовых подложек. Показано, что эффект нелинейного многофотонного поглощения лазерного излучения может быть использован для отделения структур на основе GaN от объемных кристаллов GaN.
Access count: 515
Last 30 days: 8