Детальная информация

Самогаев, Никита Анатольевич. Установка рефлектометрии для металлорганической газофазной эпитаксии гетероструктур [Электронный ресурс]: бакалаврская работа: 11.03.01 / Н. А. Самогаев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. А. Я. Сергеев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,30 МБ). — Санкт-Петербург, 2016. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-1392.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-1392>.

Дата создания записи: 16.03.2017

Тематика: лазер; рефлектометрия; обработка сигнала

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Ссылки: DOI

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (2,3 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Цель работы - разработка установки рефлектометрии для контроля зоны роста гетероструктур типа А3В5, выращиваемых методом металлорганической газофазной эпитаксии (МОГФЭ) и разработано техническое задание на её построение. Были реализованы новые подходы: за счет модуляции частоты излучения лазера удалось выделить из общего излучения только излучение отраженного луча лазера; детектирование по двум каналам позволило учесть собственную нестабильность работы лазера; за счет применения оптических фильтров и фокусирующих линз, а также высокой частоты оцифровки с нахождение среднего значения для каждого полупериода, была повышена точность измерения скорости роста подложки. Спроектированная установка удовлетворяет техническому заданию.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 437
За последние 30 дней: 9
Подробная статистика