Details

Салаш, Мария Андреевна. Исследование буферных слоев нитридов металлов III группы методом картирования рассеянной интенсивности рентгеновских лучей в пространстве обратной решетки вблизи отражений от ассиметричных плоскостей гетероструктуры [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 11.04.04 / М. А. Салаш; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций; науч. рук. М. В. Байдакова, Р. Г. Бурковский. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 3,97 МБ). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3100.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3100>.

Record create date: 10/16/2017

Subject: Металлы переходные, нитриды; Кремний, карбиды; Дифракция; Полупроводниковые гетеропереходы; Рентгеноспектральный анализ; карты обратного пространства; буферный слой

UDC: 537.311.322(043.3); 546.302'171.1(043.3); 546.281'261(043.3); 539.26(043.3)

Collections: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Links: DOI

Allowed Actions: Read Download (4.0 Mb) You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Было изучено 4 гетероструктуры методами карт обратного пространства с целью выявления особенностей начального роста буферного слоя GaN и его влияния на параметры ТВПЭ-структуры. На примере материала InGaN продемонстрированы возможности таких диагностических методов как ВИМС, ПЭМ, РСМА, РД, РЭМ для характеризации буферов.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Document usage statistics

stat Document access count: 374
Last 30 days: 10
Detailed usage statistics