Details

Маловичко, Виктор Александрович. Плазмохимическое травление кремния с использованием гексафторида серы [Электронный ресурс]: бакалаврская работа: 22.03.01 / В. А. Маловичко; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. Г. А. Михайловский. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,30 МБ). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3410.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3410>.

Record create date: 10/3/2017

Subject: плазмохимическое травление; пониженное давление; полировка

Collections: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Links: DOI

Allowed Actions: Read Download (2.3 Mb) You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Последнее время в технологии микросистемной техники пытаются перейти от травления при высоком вакууме к более высоким давлениям. Это связано с отказом от дорогостоящего высоковакуумного оборудования и упрощения процесса травления. С увеличением давления в камере ожидается эффект полировки пластин изотропным травлением. В данной работе представлены результаты плазмохимического травления кремния в низкотемпературной плазме в газовой смеси He/SF6/O2 при пониженном давлении (2500 Па). Полученные результаты справедливы только для приведенных расходов газов, так как изменение состава газовой смеси приведет к изменению парциального давления газов в реакторе и результаты могут измениться.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Document usage statistics

stat Document access count: 318
Last 30 days: 9
Detailed usage statistics