Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
Последнее время в технологии микросистемной техники пытаются перейти от травления при высоком вакууме к более высоким давлениям. Это связано с отказом от дорогостоящего высоковакуумного оборудования и упрощения процесса травления. С увеличением давления в камере ожидается эффект полировки пластин изотропным травлением. В данной работе представлены результаты плазмохимического травления кремния в низкотемпературной плазме в газовой смеси He/SF6/O2 при пониженном давлении (2500 Па). Полученные результаты справедливы только для приведенных расходов газов, так как изменение состава газовой смеси приведет к изменению парциального давления газов в реакторе и результаты могут измениться.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все | |||||
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ | |||||
Интернет | Анонимные пользователи |
Статистика использования
Количество обращений: 372
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |