Details
| Title | Влияние условий сухого травления на КПД солнечных элементов на кремнии: выпускная квалификационная работа бакалавра: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника ; 11.03.04_04 - Микроэлектроника и твердотельная электроника |
|---|---|
| Creators | Алексеев Никита Владимирович |
| Scientific adviser | Зыков Валерий Андреевич ; Морозов И. А. |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2018 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | солнечный элемент ; сухое травление ; наносферная литография ; спектр отражения |
| Document type | Bachelor graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Bachelor |
| Speciality code (FGOS) | 03.03.01 |
| Speciality group (FGOS) | 030000 - Физика и астрономия |
| Links | Отзыв руководителя |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/v18-2242 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\54714 |
| Record create date | 10/26/2018 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
- СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
- ВВЕДЕНИЕ
- 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
- 1.1. Основные сведения о солнечных элементах
- 1.2. Поглощение света
- 1.3. Рекомбинация
- 1.4. p-n переход
- 1.5. Влияние ширины запрещенной зоны на КПД
- 1.6 Отражение и пропускание
- 2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
- 2.1. Сухое травление
- 2.2. Наносферная литография
- ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ
- 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
- 3.1. Описание экспериментальной установки
- 3.2. Используемые экспериментальные образцы
- 3.2.1. Наносферная литография
- 3.2.2. Сухое травление
- 3.3. Измерение спектров отражений
- 4. Проанализированы полученные результаты и проведено сравнение с табличными значениями.
- Была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
- В ходе выполнения работы был вынесен ряд технологических особенностей:
- Отражение образца получилось порядка 0,4%. Таким образом, потери КПД на отражение сведены к минимуму.
- СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- ПРИЛОЖЕНИЕ
Access count: 33
Last 30 days: 0
