Details

Title Влияние условий сухого травления на КПД солнечных элементов на кремнии: выпускная квалификационная работа бакалавра: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника ; 11.03.04_04 - Микроэлектроника и твердотельная электроника
Creators Алексеев Никита Владимирович
Scientific adviser Зыков Валерий Андреевич ; Морозов И. А.
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint Санкт-Петербург, 2018
Collection Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Subjects солнечный элемент ; сухое травление ; наносферная литография ; спектр отражения
Document type Bachelor graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Bachelor
Speciality code (FGOS) 03.03.01
Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия
Links Отзыв руководителя
DOI 10.18720/SPBPU/2/v18-2242
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key RU\SPSTU\edoc\54714
Record create date 10/26/2018

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous
  • СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
  • ВВЕДЕНИЕ
  • 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
    • 1.1. Основные сведения о солнечных элементах
    • 1.2. Поглощение света
    • 1.3. Рекомбинация
    • 1.4. p-n переход
    • 1.5. Влияние ширины запрещенной зоны на КПД
    • 1.6 Отражение и пропускание
  • 2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
    • 2.1. Сухое травление
    • 2.2. Наносферная литография
  • ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ
  • 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
    • 3.1. Описание экспериментальной установки
    • 3.2. Используемые экспериментальные образцы
      • 3.2.1. Наносферная литография
      • 3.2.2. Сухое травление
    • 3.3. Измерение спектров отражений
  • 4. Проанализированы полученные результаты и проведено сравнение с табличными значениями.
  • Была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
  • В ходе выполнения работы был вынесен ряд технологических особенностей:
  • Отражение образца получилось порядка 0,4%. Таким образом, потери КПД на отражение сведены к минимуму.
  • СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
  • ПРИЛОЖЕНИЕ

Access count: 33 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics