Details

Алексеев, Никита Владимирович. Влияние условий сухого травления на КПД солнечных элементов на кремнии [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа бакалавра: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника ; 11.03.04_04 - Микроэлектроника и твердотельная электроника / Н. В. Алексеев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук.: В. А. Зыков, И. А. Морозов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 3,31 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v18-2242.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-2242>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-2242-o.pdf>.

Record create date: 10/26/2018

Subject: солнечный элемент; сухое травление; наносферная литография; спектр отражения

Collections: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Links: DOI; Отзыв руководителя

Allowed Actions: Read You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read Print
-> Internet All Read Print

Table of Contents

  • СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
  • ВВЕДЕНИЕ
  • 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
    • 1.1. Основные сведения о солнечных элементах
    • 1.2. Поглощение света
    • 1.3. Рекомбинация
    • 1.4. p-n переход
    • 1.5. Влияние ширины запрещенной зоны на КПД
    • 1.6 Отражение и пропускание
  • 2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
    • 2.1. Сухое травление
    • 2.2. Наносферная литография
  • ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ
  • 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
    • 3.1. Описание экспериментальной установки
    • 3.2. Используемые экспериментальные образцы
      • 3.2.1. Наносферная литография
      • 3.2.2. Сухое травление
    • 3.3. Измерение спектров отражений
  • 4. Проанализированы полученные результаты и проведено сравнение с табличными значениями.
  • Была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
  • В ходе выполнения работы был вынесен ряд технологических особенностей:
  • Отражение образца получилось порядка 0,4%. Таким образом, потери КПД на отражение сведены к минимуму.
  • СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
  • ПРИЛОЖЕНИЕ

Document usage statistics

stat Document access count: 17
Last 30 days: 3
Detailed usage statistics