Детальная информация
| Название | Влияние условий сухого травления на КПД солнечных элементов на кремнии: выпускная квалификационная работа бакалавра: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника ; 11.03.04_04 - Микроэлектроника и твердотельная электроника |
|---|---|
| Авторы | Алексеев Никита Владимирович |
| Научный руководитель | Зыков Валерий Андреевич ; Морозов И. А. |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2018 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Тематика | солнечный элемент ; сухое травление ; наносферная литография ; спектр отражения |
| Тип документа | Выпускная квалификационная работа бакалавра |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Бакалавриат |
| Код специальности ФГОС | 03.03.01 |
| Группа специальностей ФГОС | 030000 - Физика и астрономия |
| Ссылки | Отзыв руководителя |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/v18-2242 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\54714 |
| Дата создания записи | 26.10.2018 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
- СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
- ВВЕДЕНИЕ
- 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
- 1.1. Основные сведения о солнечных элементах
- 1.2. Поглощение света
- 1.3. Рекомбинация
- 1.4. p-n переход
- 1.5. Влияние ширины запрещенной зоны на КПД
- 1.6 Отражение и пропускание
- 2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
- 2.1. Сухое травление
- 2.2. Наносферная литография
- ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ
- 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
- 3.1. Описание экспериментальной установки
- 3.2. Используемые экспериментальные образцы
- 3.2.1. Наносферная литография
- 3.2.2. Сухое травление
- 3.3. Измерение спектров отражений
- 4. Проанализированы полученные результаты и проведено сравнение с табличными значениями.
- Была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
- В ходе выполнения работы был вынесен ряд технологических особенностей:
- Отражение образца получилось порядка 0,4%. Таким образом, потери КПД на отражение сведены к минимуму.
- СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- ПРИЛОЖЕНИЕ
Количество обращений: 33
За последние 30 дней: 0
