В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.

• СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
• ВВЕДЕНИЕ
• 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
  • 1.1. Основные сведения о солнечных элементах
  • 1.2. Поглощение света
  • 1.3. Рекомбинация
  • 1.4. p-n переход
  • 1.5. Влияние ширины запрещенной зоны на КПД
  • 1.6 Отражение и пропускание
• 2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
  • 2.1. Сухое травление
  • 2.2. Наносферная литография
• ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ
• 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
  • 3.1. Описание экспериментальной установки
  • 3.2. Используемые экспериментальные образцы
    • 3.2.1. Наносферная литография
    • 3.2.2. Сухое травление
  • 3.3. Измерение спектров отражений
• 4. Проанализированы полученные результаты и проведено сравнение с табличными значениями.
• Была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
• В ходе выполнения работы был вынесен ряд технологических особенностей:
• Отражение образца получилось порядка 0,4%. Таким образом, потери КПД на отражение сведены к минимуму.
• СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
• ПРИЛОЖЕНИЕ