Детальная информация

Название: Влияние условий сухого травления на КПД солнечных элементов на кремнии: выпускная квалификационная работа бакалавра: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника ; 11.03.04_04 - Микроэлектроника и твердотельная электроника
Авторы: Алексеев Никита Владимирович
Научный руководитель: Зыков Валерий Андреевич; Морозов И. А.
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2018
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: солнечный элемент; сухое травление; наносферная литография; спектр отражения
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.03.01
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
Ссылки: http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-2242; http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-2242-o.pdf

Разрешенные действия: Прочитать Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Локальная сеть ИБК СПбПУ

Аннотация

В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
-> Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать
Интернет Все Прочитать Печать

Оглавление

  • СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
  • ВВЕДЕНИЕ
  • 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
    • 1.1. Основные сведения о солнечных элементах
    • 1.2. Поглощение света
    • 1.3. Рекомбинация
    • 1.4. p-n переход
    • 1.5. Влияние ширины запрещенной зоны на КПД
    • 1.6 Отражение и пропускание
  • 2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
    • 2.1. Сухое травление
    • 2.2. Наносферная литография
  • ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ
  • 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
    • 3.1. Описание экспериментальной установки
    • 3.2. Используемые экспериментальные образцы
      • 3.2.1. Наносферная литография
      • 3.2.2. Сухое травление
    • 3.3. Измерение спектров отражений
  • 4. Проанализированы полученные результаты и проведено сравнение с табличными значениями.
  • Была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
  • В ходе выполнения работы был вынесен ряд технологических особенностей:
  • Отражение образца получилось порядка 0,4%. Таким образом, потери КПД на отражение сведены к минимуму.
  • СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
  • ПРИЛОЖЕНИЕ

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 22
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика