Table | Card | RUSMARC | |
Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Измерены диэлектрические параметры слоев оксида алюминия, нанесенных методом ALD. Определены диэлектрические параметры оксида алюминия и построены их частотные зависимости. Получены данные о радиационной стойкости. Составлены карты диэлектрической однородности и толщины слоя диэлектрика.
Document access rights
Network | User group | Action | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All | |||||
Internet | Authorized users SPbPU | |||||
Internet | Anonymous |
Usage statistics
Access count: 52
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |