Долженко, Дмитрий Игоревич. Диэлектрические свойства и радиационная стойкость слоев оксида алюминия, полученных методом атомно-слоевого осаждения [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника ; 11.04.04_03 – Органическая электроника / Д. И. Долженко; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. В. М. Капралова. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,25 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v18-2578.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-2578>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-2578-o.pdf>.
Внимание
Чтение недоступно