Детальная информация
| Название | Исследование формирования омических контактов к транзисторным структурам на основе нитрида галлия: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники |
|---|---|
| Авторы | Пахомов Александр Игорьевич |
| Научный руководитель | Соловьев Юрий Владимирович |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2019 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция |
| Тематика | омический контакт; нитрид галлия; нитриды; электронно-лучевое напыление; термический отжиг; ohmic contact; gallium nitride; nitrides; electron-beam evaporation; thermal annealing |
| Тип документа | Выпускная квалификационная работа бакалавра |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Бакалавриат |
| Код специальности ФГОС | 28.03.01 |
| Группа специальностей ФГОС | 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы |
| Ссылки | Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2494 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | ru\spstu\vkr\1330 |
| Дата создания записи | 26.08.2019 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Данная работа представляет собой исследование омического контакта к транзисторной структуре на основе нитрида галлия. Собраны литературные данные о формировании, свойствах и принципе работы омических контактов. Описан полный цикл технологических операций по формированию омического контакта. Проведены эксперименты по оптимизации режимов термического отжига.
This work is a study of the ohmic contact to the transistor structure based on gallium nitride. Collected literature data on the formation, properties and working principle of ohmic contacts. A complete cycle of technological operations for the formation of an ohmic contact is described. Experiments were carried out to optimize the thermal annealing regimes.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 20
За последние 30 дней: 0
