В данной работе представлены результаты численного моделирования в про- грамме Fluent течения газовой химически реагирующей смеси в установке для роста карбида кремния с легирующими примесями, поставленного аналогично натуральному эксперименту. Было рассмотрено влияние параметров модели на получаемое решение. Результаты численного и натурного экспериментов были сопоставлены и был сделан вывод о применимости рассматриваемой численной модели к моделированию роста карбида кремния легированного азотом.

In this letter results of computational modeling of gas mixture flow in setup for silicon carbide epitaxial growth in "Fluent" are shown. Influence of model parameters to solution are discussed. Results of computational and nature experiments are compared, conclusion about applicability of current model is made.

• РЕФЕРАТ
• Введение
• 1 Обзор литературы
• 2 Цели и задачи
• 3 Постановка задачи
  • 3.1 Математическая модель
    • 3.1.1 Уравнения течения газовой смеси с объёмными и поверхностными химическими реакциями
    • 3.1.2 Граничные условия на каталитической стенке
  • 3.2 Физическая модель
  • 3.3 Вычислительные аспекты
• 4 Результаты и их обсуждение
  • 4.1 Характерные гидродинамические поля
  • 4.2 Распределения компонент газовой смеси
  • 4.3 Методические расчёты
    • 4.3.1 Зависимость от температуры
    • 4.3.2 Зависимость от соотношения C/Si
    • 4.3.3 Зависимость от расхода азота
• 5 Заключение
• 6 Список литературы