Детальная информация

Название: Численное моделирование тепломассопереноса в установке для роста карбида кремния с легирующими примесями: выпускная квалификационная работа бакалавра: 03.03.01 - Прикладные математика и физика ; 03.03.01_01 - Математическое и экспериментальное моделирование в механике сплошных сред
Авторы: Игнатенко Виктор Александрович
Научный руководитель: Иванов Николай Георгиевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт прикладной математики и механики
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2019
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: численное моделирование; hot-wall CVD reactor; карбид кремния; легирование; квазитермодинамическая модель; эпитаксия; Fluent; computational modeling; silicon carbide; doping; quasithermodynamic model; epitaxy
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.03.01
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
Ссылки: http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-5512; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-5512-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-5512-a.pdf
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (4,5 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В данной работе представлены результаты численного моделирования в про- грамме Fluent течения газовой химически реагирующей смеси в установке для роста карбида кремния с легирующими примесями, поставленного аналогично натуральному эксперименту. Было рассмотрено влияние параметров модели на получаемое решение. Результаты численного и натурного экспериментов были сопоставлены и был сделан вывод о применимости рассматриваемой численной модели к моделированию роста карбида кремния легированного азотом.

In this letter results of computational modeling of gas mixture flow in setup for silicon carbide epitaxial growth in "Fluent" are shown. Influence of model parameters to solution are discussed. Results of computational and nature experiments are compared, conclusion about applicability of current model is made.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Оглавление

  • РЕФЕРАТ
  • Введение
  • 1 Обзор литературы
  • 2 Цели и задачи
  • 3 Постановка задачи
    • 3.1 Математическая модель
      • 3.1.1 Уравнения течения газовой смеси с объёмными и поверхностными химическими реакциями
      • 3.1.2 Граничные условия на каталитической стенке
    • 3.2 Физическая модель
    • 3.3 Вычислительные аспекты
  • 4 Результаты и их обсуждение
    • 4.1 Характерные гидродинамические поля
    • 4.2 Распределения компонент газовой смеси
    • 4.3 Методические расчёты
      • 4.3.1 Зависимость от температуры
      • 4.3.2 Зависимость от соотношения C/Si
      • 4.3.3 Зависимость от расхода азота
  • 5 Заключение
  • 6 Список литературы

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 19
За последние 30 дней: 3
Подробная статистика