Details
Title | Метод взрывной литографии при изготовлении оптоэлектронных приборов // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. – 2005. – Радиофизический факультет. — Ч.6 |
---|---|
Creators | Чунарева А.В. ; Ильинская Н.Д. |
Other creators | Глухов В.В. |
Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург) ; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов |
Imprint | СПб., 2005 |
Collection | Общая коллекция |
Subjects | фоторезисторы ; взрывная литография ; профили фоторезисторов ; фотополимеризация ; термополимеризация ; микролитография |
Document type | Article, report |
File type | |
Language | Russian |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\10878 |
Record create date | 11/7/2005 |
Access count: 1155
Last 30 days: 30