Details
| Title | Метод взрывной литографии при изготовлении оптоэлектронных приборов // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. – 2005. – Радиофизический факультет. — Ч.6 |
|---|---|
| Creators | Чунарева А.В. ; Ильинская Н.Д. |
| Other creators | Глухов В.В. |
| Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург) ; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов |
| Imprint | СПб., 2005 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | фоторезисторы ; взрывная литография ; профили фоторезисторов ; фотополимеризация ; термополимеризация ; микролитография |
| Document type | Article, report |
| File type | |
| Language | Russian |
| Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\10878 |
| Record create date | 11/7/2005 |
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | All |
|
Access count: 1155
Last 30 days: 30
