?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Метод взрывной литографии при изготовлении оптоэлектронных приборов // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. – 2005 Радиофизический факультет
Creators: Чунарева А.В.; Ильинская Н.Д.
Other creators: Глухов В.В.
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint: СПб., 2005
Collection: Общая коллекция
Subjects: фоторезисторы; взрывная литография; профили фоторезисторов; фотополимеризация; термополимеризация; микролитография
Document type: Article, report
File type: PDF
Language: Russian
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read Download (229 Kb)

Group: Anonymous

Network: Internet

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous Read Print Download

Included in

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург). Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. [Электронный ресурс] / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научно-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. — Санкт-Петербург, 2005. — Электрон. версия печ. публикации 2005. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0.

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург). Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. [Электронный ресурс] / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научно-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. — Санкт-Петербург, 2005 Ч.6 Радиофизический факультет [Электронный ресурс]. — Электрон. текстовые дан. (109 файлов: 11,8 МБ). — СПб., 2005. — Электрон. версия печ. публикации 2005. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/682.pdf>.

Usage statistics

stat Access count: 106
Last 30 days: 9
Detailed usage statistics