Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Мягков Д. В.; Портной Е. Л. Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная конференция. Неделя науки (31; 2002; Санкт-Петербург); СПбГПУ. Физико-технический факультет; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб., 2004 Collection Общая коллекция Subjects фотолитография; фоторезисторы; интегральная оптика; полупроводниковые лазеры Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 86 Kb -
Creators Чунарева А. В.; Ильинская Н. Д. Other creators Глухов В. В. Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб., 2005 Collection Общая коллекция Subjects фоторезисторы; взрывная литография; профили фоторезисторов; фотополимеризация; термополимеризация; микролитография Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 229 Kb
