Комаревцев, И.М. Технология кремниевых инерциальных датчиков [Электронный ресурс] / И.М. Комаревцев, А.Н. Казакин, Е.Н. Пятышев. — (Секция «Физика полупроводников и наноэлектроника»). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 92 Кб) // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. [Электронный ресурс] / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научно-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. – Санкт-Петербург. – 2005. – Радиофизический факультет [Электронный ресурс]. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/005779.pdf>.
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
Year 2012
|
Quarter 1
|
4
|
0
|
5
|
0
|
9
|
Quarter 2
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
Quarter 3
|
5
|
0
|
4
|
0
|
9
|
Quarter 4
|
4
|
0
|
5
|
0
|
9
|
Year 2013
|
Quarter 1
|
5
|
0
|
9
|
0
|
14
|
Quarter 2
|
12
|
0
|
4
|
0
|
16
|
Quarter 3
|
20
|
0
|
14
|
0
|
34
|
Quarter 4
|
25
|
0
|
9
|
0
|
34
|
Year 2014
|
Quarter 1
|
19
|
0
|
9
|
0
|
28
|
Quarter 2
|
20
|
0
|
8
|
0
|
28
|
Quarter 3
|
29
|
0
|
9
|
0
|
38
|
Quarter 4
|
17
|
0
|
10
|
0
|
27
|
Year 2015
|
Quarter 1
|
14
|
0
|
10
|
0
|
24
|
Quarter 2
|
19
|
0
|
8
|
0
|
27
|
Quarter 3
|
19
|
0
|
10
|
0
|
29
|
Quarter 4
|
23
|
0
|
14
|
0
|
37
|
Year 2016
|
Quarter 1
|
15
|
0
|
13
|
0
|
28
|
Quarter 2
|
22
|
0
|
13
|
0
|
35
|
Quarter 3
|
19
|
0
|
8
|
0
|
27
|
Quarter 4
|
49
|
0
|
9
|
0
|
58
|
Year 2017
|
Quarter 1
|
15
|
0
|
7
|
0
|
22
|
Quarter 2
|
14
|
0
|
13
|
0
|
27
|
Quarter 3
|
6
|
0
|
30
|
0
|
36
|
Quarter 4
|
16
|
0
|
12
|
0
|
28
|
Year 2018
|
Quarter 1
|
7
|
0
|
16
|
0
|
23
|
Quarter 2
|
8
|
0
|
23
|
0
|
31
|
Quarter 3
|
5
|
0
|
22
|
0
|
27
|
Quarter 4
|
17
|
0
|
13
|
0
|
30
|
Year 2019
|
Quarter 1
|
3
|
0
|
13
|
0
|
16
|
Quarter 2
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
Quarter 3
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
Quarter 4
|
1
|
0
|
6
|
0
|
7
|
Year 2020
|
Quarter 1
|
8
|
0
|
18
|
0
|
26
|
Quarter 2
|
8
|
0
|
0
|
0
|
8
|
Quarter 3
|
6
|
0
|
0
|
0
|
6
|
Quarter 4
|
8
|
0
|
8
|
0
|
16
|
Year 2021
|
Quarter 1
|
10
|
0
|
15
|
0
|
25
|
Quarter 2
|
16
|
0
|
7
|
0
|
23
|
Quarter 3
|
4
|
0
|
13
|
0
|
17
|
Quarter 4
|
5
|
0
|
10
|
0
|
15
|
Year 2022
|
Quarter 1
|
10
|
0
|
12
|
0
|
22
|
Quarter 2
|
2
|
0
|
7
|
0
|
9
|
Quarter 3
|
13
|
0
|
5
|
0
|
18
|
Quarter 4
|
14
|
0
|
5
|
0
|
19
|
Year 2023
|
Quarter 1
|
21
|
0
|
9
|
0
|
30
|
Quarter 2
|
5
|
0
|
7
|
0
|
12
|
Quarter 3
|
10
|
0
|
8
|
0
|
18
|
Quarter 4
|
11
|
0
|
12
|
0
|
23
|
Year 2024
|
Quarter 1
|
8
|
0
|
7
|
0
|
15
|
Quarter 2
|
11
|
0
|
18
|
0
|
29
|
Quarter 3
|
7
|
0
|
12
|
0
|
19
|
Total
|
617
|
0
|
508
|
0
|
1,125
|