Алябьев, Алексей Юрьевич. Применение технологии атомно-слоевого осаждения оксида гафния в производстве элементов электронной компонентной базы = Atomic layer deposition technology for electronic components production [Электронный ресурс] / А. Ю. Алябьев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 403 Кб) // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление = St. Petersburg state polytechnical university journal. Computer science. Telecommunications and control systems: научное издание. – Санкт-Петербург. – 2015. – Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/8699.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.5862/JCSTCS.224.5>.