Details

В работе исследованы технологические особенности нанесения покрытий оксида никеля (NiO) методом молекулярного наслаивания (МН) с использованием металлорганических реагентов и озона (O3). Для реагентов — бис(циклопентадиенил) никель (NiCp3), бис(этилциклопентадиенил) никель (Ni(EtCp)2) и бис(2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионато) никель (Ni(TMHD)2) — определены оптимальные параметры нанесения, обеспечивающие стабильный рост и воспроизводимость покрытий. Исследования состава и структуры подтвердили, что преобладающим компонентом покрытия является NiO. Практическая значимость работы показана в двух направлениях. Изучено применение покрытий в качестве каталитических для синтеза углеродных нанотрубок, где установлена зависимость морфологии наноструктур от толщины слоя NiO. Также разработаны электрохромные устройства на основе наноструктурированного слоя оксида индия и олова (ITO), модифицированного покрытием NiO. Устройства демонстрируют высокую оптическую модуляцию и стабильность при многократном переключении. Результаты работы подтверждают перспективность применения покрытий NiO в электрохромных и эмиссионных устройствах.