Details

Title: Физико-химические основы технологии полупроводников. Пучковые и плазменные процессы в планарной технологии: учебное пособие
Creators: Бобыль Александр Васильевич; Карманенко Сергей Федорович
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005
Electronic publication: Санкт-Петербург, 2021
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Полупроводники — Производство; Ионы — Пучки; Плазмохимия
UDC: 621.382(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 55.01.00; 55.31.01; 55.31.02; 16.00.00
Speciality group (FGOS): 550000; 160000 - Физико-технические науки и технологии
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si21-107
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Additionally: New arrival

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Пособие соответствует государственному образовательному стандарту по дисциплине "Физико-химические основы технологии полупроводников" для студентов, обучающихся по программе бакалавров по направлению 550100 "Техническая физика". Рассмотрены основные физико-химические инструменты полупроводниковой технологии - пучковые потоки, низкотемпературная плазма, газофазная эпитаксия. Изучение этих разделов является особенно полезным на начальных этапах участия студентов в реальных условиях научных исследований, как экспериментальных (технологических и материаловедческих), так и теоретических. Предназначено для студентов, обучающихся по специальностям 553101 "Прикладная физика твердого тела", 553102 "Физика и техника полупроводников", студентам старших курсов и аспирантам, специализирующихся в области технологии и исследования твердого тела. Предназначено для студентов физико-технического факультета.

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • Введение
  • Глава 1. Планарная технология полупроводников
  • Глава 2. Взаимодействие корпускулярных потоков с твердым телом
  • Глава 3. Взаимодействие электронных потоков с твердым телом
  • Глава 4. Физико-химические превращения в низкотемпературной плазме
  • Глава 5. Осаждения пленок в процессе ионно-плазменного распыления
  • Приложение
  • Библиографический список

Usage statistics

stat Access count: 2
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics