Детальная информация
| Название | Технология материалов электронной техники. Процессы химического осаждения из газовой фазы: учебное пособие |
|---|---|
| Авторы | Александров Сергей Евгеньевич |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005 |
| Электронная публикация | Санкт-Петербург, 2021 |
| Коллекция | Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция |
| Тематика | Осаждение (хим.) |
| УДК | 621.382(075.8) |
| Тип документа | Учебник |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Код специальности ФГОС | 04.00.00 |
| Группа специальностей ФГОС | 040000 - Химия |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/si21-994 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\66432 |
| Дата создания записи | 01.04.2021 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Учебное пособие соответствует государственному образовательному стандарту и освещает один из разделов дисциплины «Технология материалов электронной техники» подготовки специалистов по специальности 240306 «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники», а также подготовки магистров по направлению 150600 «Материаловедение и технология новых материалов». Кроме того, пособие может быть полезно для подготовки специалистов по специальности 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы и покрытия». Рассмотрены физико-химические основы процессов химического осаждения из газовой фазы. Особое внимание уделено экспериментальным методам исследования процессов химического осаждения из газовой фазы современными инструментальными методами. Предназначено для студентов пятого курса факультета технологии и исследования материалов, изучающих дисциплину «Технология материалов электронной техники» в рамках специальной подготовки.
Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 114
За последние 30 дней: 1
