Александров, Сергей Евгеньевич. Технология материалов электронной техники. Процессы химического осаждения из газовой фазы: учебное пособие / С. Е. Александров; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005 (Санкт-Петербург, 2021). — 1 файл (2,74 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Цифровая копия печатной публикации 2005 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/si21-994.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-994. — Текст: электронный
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Вчера | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Последние 30 дней | 5 | 0 | 3 | 0 | 8 |
| Последние 365 дней | 23 | 0 | 18 | 0 | 41 |
| За все время | 81 | 2 | 39 | 0 | 122 |