Александров, Сергей Евгеньевич. Технология материалов электронной техники. Процессы химического осаждения из газовой фазы: учебное пособие / С. Е. Александров; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005 (Санкт-Петербург, 2021). — 1 файл (2,74 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Цифровая копия печатной публикации 2005 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/si21-994.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-994. — Текст: электронный
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Год 2021 | Квартал 2 | 6 | 0 | 3 | 0 | 9 |
| Квартал 3 | 1 | 0 | 0 | 0 | 1 | |
| Квартал 4 | 5 | 2 | 4 | 0 | 11 | |
| Год 2022 | Квартал 1 | 13 | 0 | 2 | 0 | 15 |
| Квартал 2 | 16 | 0 | 2 | 0 | 18 | |
| Квартал 3 | 3 | 0 | 4 | 0 | 7 | |
| Квартал 4 | 4 | 0 | 4 | 0 | 8 | |
| Год 2023 | Квартал 1 | 6 | 0 | 1 | 0 | 7 |
| Квартал 2 | 2 | 0 | 1 | 0 | 3 | |
| Квартал 3 | 2 | 0 | 0 | 0 | 2 | |
| Квартал 4 | 4 | 0 | 1 | 0 | 5 | |
| Год 2024 | Квартал 1 | 0 | 0 | 3 | 0 | 3 |
| Квартал 2 | 14 | 0 | 10 | 0 | 24 | |
| Квартал 3 | 2 | 0 | 2 | 0 | 4 | |
| Квартал 4 | 3 | 0 | 2 | 0 | 5 | |
| Всего | 81 | 2 | 39 | 0 | 122 | |