?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Ионно-лучевое травление пьезоматериалов: выпускная квалификационная работа бакалавра: 22.03.01 - Материаловедение и технологии материалов
Creators: Белавина Наталья Александровна
Scientific adviser: Шахмин Александр Львович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2018
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: ниобат лития; танталат лития; пьезокварц; акустоэлектроника; фотоника
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Bachelor
Speciality code (FGOS): 22.03.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
Links: Отзыв руководителя
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v18-1799
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\54336

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В данной работе проведены исследования влияния технологических параметров процесса ионно-лучевого травления на скорость травления пьезоматериалов, а в частности, влияние мощности ICP – источника и угла падения ионов на скорость травления. Выявлены оптимальные параметры процесса ИЛТ для достижения максимальной скорости травления.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 210
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics