Details
| Title | Исследование пленок нитрида галлия, выращенных методом хлоридгидридной газофазной эпитаксии: автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 |
|---|---|
| Creators | Цюк Александр Игоревич |
| Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
| Imprint | СПб., 2011 |
| Collection | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Subjects | Галлий, нитриды ; Кристаллы — Рост |
| UDC | 537.311.322(043.3) |
| Document type | Author's Abstract |
| Language | Russian |
| Speciality code (OKSVNK) | 01.04.10 |
| Speciality group (OKSVNK) | 010000 - Физико-математические науки |
| Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\18662 |
| Record create date | 11/17/2011 |
Работа посвящена исследованию режимов роста нитрида галлия при ХГФЭ. Обнаружено два режима роста, существенно отличающихся по морфологии пленок. комбинация этих режимов позволяет получить пленки нитрида галлия высокого кристаллического совершенства.
...