Алиева, Александра Игоревна. Оптимизация параметров Bosch-процесса для получения микромеханических структур по технологии кремний на стекле [Электронный ресурс] = Optimization of Bosch-process parameters for silicon on glass micromechanical systems: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники / А. И. Алиева; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. М. В. Мишин. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 5,7 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-1069.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1069>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-a.pdf>.