Алиева, Александра Игоревна. Оптимизация параметров Bosch-процесса для получения микромеханических структур по технологии кремний на стекле [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники = Optimization of Bosch-process parameters for silicon on glass micromechanical systems / А. И. Алиева; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. М. В. Мишин. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 5,7 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-1069.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1069>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-a.pdf>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Год 2019 | Квартал 3 | сентябрь | 8 | 0 | 8 | 0 | 16 |
| Квартал 4 | октябрь | 3 | 0 | 1 | 0 | 4 | |
| ноябрь | 2 | 0 | 8 | 0 | 10 | ||
| декабрь | 0 | 0 | 3 | 0 | 3 | ||
| Год 2020 | Квартал 1 | январь | 0 | 0 | 4 | 0 | 4 |
| февраль | 1 | 0 | 6 | 0 | 7 | ||
| март | 6 | 0 | 7 | 0 | 13 | ||
| Квартал 2 | апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2021 | Квартал 1 | январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | апрель | 0 | 0 | 1 | 0 | 1 | |
| май | 2 | 0 | 3 | 0 | 5 | ||
| июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2022 | Квартал 1 | январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | апрель | 0 | 0 | 2 | 0 | 2 | |
| май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| 2023 | Квартал 1 | январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2024 | Квартал 1 | январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | октябрь | 1 | 0 | 2 | 0 | 3 | |
| ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2025 | Квартал 1 | январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| февраль | 2 | 0 | 1 | 0 | 3 | ||
| март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| май | 7 | 0 | 1 | 0 | 8 | ||
| июнь | 4 | 0 | 0 | 0 | 4 | ||
| Квартал 3 | июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Всего | 36 | 0 | 47 | 0 | 83 | ||