Саламатова, Ульяна Вячеславовна. Создание маски для заземляющих отверстий с помощью процесса фотолитографии на обратной стороне подложки GaAs с использованием установки MJB4: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники» = Creating a mask for ground holes using the photolithography process on the back of a GaAs substrate using the MJB4 installation / У. В. Саламатова; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Г. А. Михайловский; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2020. — 1 файл (1,7 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/vr20-1436.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1436-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1436-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1436. — Текст