Details

Title: Оптимизация лазерно-плазменного источника EUV излучения для литографии – поглощение лазерной энергии в плазме и гидродинамические эффекты: выпускная квалификационная работа магистра: направление 03.04.02 «Физика» ; образовательная программа 03.04.02_06 «Физика космоса»
Creators: Максимов Владислав Алексеевич
Scientific adviser: Капралов Владимир Геннадьевич
Other creators: Веселова Ирина Юрьевна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: EUV литография; лазерная плазма; EUV излучение; поглощение излучения; диаметр луча в прифокальной области; геометрические параметры лазерного луча; EUV lithography; laser plasma; EUV radiation; absorption of radiation; beam diameter in the near-focal region; geometric parameters of the laser beam
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 03.04.02
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-3366
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Доля энергии лазерного излучения, поглощенная в плазме, варьирует от 8.5 % при острой фокусировке излучения на Xe газоструйную мишень до 65 % при облучении расфокусированным лучом. И этот результат очень важен, поскольку мощность EUV излучения плазмы характеризуется поглощением. Проведённый анализ этого явления основан на гипотезе о тепловом разлёте плазмы за время длительности лазерного импульса τlas ≈ 10 нс. Для учёта разлёта плазмы при расчёте параметров плазмы потребовались измерения геометрических параметров луча, которые проводились тремя различными методами.

A part of laser pulse energy which is absorbed by plasma changes from 8.5 % to 65 % at a changing of laser beam diameter which irradiates Xe jet-puff target. And this result is very important, because the EUV radiation power of the plasma is characterized by absorption. The analysis of this phenomenon is based on a hy-pothesis about thermal expansion of plasma during the 10ns laser pulse time. The count of plasma parameters with taking into consideration of thermal expansion requires beam geometric parameters measuring, which were made by three different methods.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics