Тема выпускной квалификационной работы: «Разработка и создание установки реактивного магнетронного распыления». В данной работе было проведено моделирование магнитной системы. Выбрана оптимальная магнитная система, с точки зрения эффективности распыления мишени и магнитной индукции магнетрона. Спроектирована вакуумная система и система подачи реактивных газов. Выбрана безмасляная система откачки для дальнейшего получения более качественных покрытий при создании различных приборов электронной техники. Разработан и создан подложкодержатель с возможностью регулировки по высоте и с функцией вращения. Разработана и создана установка магнетронного нанесения различных материалов с источником постоянного тока. Для установки создана система автоматизированного управления через интерактивный дисплей. Целью работы являлось создание и дальнейшее описание установки, ее сравнение с аналогами.

The subject of the graduate work is «Development and creation of reactive magnetron sputtering plant». In this paper done a simulation of the magnetic system. The optimal magnetic system is selected in terms of the target sputtering efficiency and magnetron magnetic induction. A vacuum system and a jet gas supply system have been designed. An oil-free pumping system was selected for further obtaining higher-quality coatings during creating various electronic equipment devices. The substrate holder with the possibility of height adjustment and with the function of rotation were designed and created. The installation of magnetron deposition of various materials with a direct current source has been developed and created. An automated control system has been created for the installation using an interactive display. The purpose of the work was to create and further describe the installation, its comparison with analogues.