Electronic Documents Search
Documents found: 5
-
Creators Архипенко Виктория Алексеевна Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects безмасочная литография; 3D принтер; фоторезист; фотолитография; maskless lithography; 3D printing; photoresist; photolithography Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2797 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.7 Mb -
Creators Мелконян Паруйр Севакович Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects диэлектрический барьерный разряд; атмосферное давление; плазма-jet; спектрометрия плазмы; оптическая эмиссионная спектрометрия; dielectric barrier discharge; atmospheric pressure; plasma-jet; plasma spectrometry; optical emission spectroscopy Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2906-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2906-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2906 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.1 Mb -
Creators Гагаева Алина Евгеньевна Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects плазмохимическое травление; монокристаллический кремний; глубокое травление; анизотропное травление; plasma chemical etching; monocrystalline silicon; seep etching; anisotropic etching Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2117 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.6 Mb -
Creators Гагаева Алина Евгеньевна Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Document type Bachelor graduation qualification work File type Other Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 13.06.2017 г. № 91 -
Creators Белянов Илья Андреевич Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects магнетронное распыление; реактивные газы; постоянный ток; магнетрон; автоматизация; magnetron sputtering; reactive gases; direct current; magnetron; automation Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2165-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2165-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2165 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.4 Mb
