Данная работа посвящена выращиванию методом МЛЭ тонких слоев твердого раствора MgxCa1-xF2 толщиной 12 нм с параметром смешивания x = 0, 0.05, 0.10, 0.15 на подложках Si(111) и исследованию их кристаллической структуры и топографии методами 3D ДБЭ и АСМ. Также был рассмотрен потенциал использования CaF2 совместно с MgF2 в двумерной наноэлектринике.

This work is devoted to the MBE growth of thin layers of the MgxCa1-xF2 solid solution 12 nm thick with the mixing parameter x = 0, 0.05, 0.10, 0.15 on Si (111) substrates and the study of their crystal structure and topography by the 3D RHEED and AFM methods. The potential of using CaF2 together with MgF2 in two- dimensional nanoelectrics was also considered.