Каримов, Артур Тагирович. Применение метода ионно-лучевого травления в производстве изделий микросистемотехники: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники» = Application of the ion-beam etching method for the production of microsystems products / А. Т. Каримов; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель А. Л. Шахмин; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2023. — 1 файл (1,9 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2023/vr/vr23-4359.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4359. — Текст: электронный