Барсуков, Юрий Владимирович. Плазменное травление нитрида кремния: научный доклад: направление подготовки 03.06.01 «Физика и астрономия» ; направленность 03.06.01_06 «Физика плазмы» = Plasma etching of silicon nitride / Ю. В. Барсуков; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт электроники и телекоммуникаций; научный руководитель А. С. Смирнов; консультант по нормоконтролю Н. К. Краснова. — Санкт-Петербург, 2021. — 1 файл (0,7 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/6/2021/vn21-48.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/6/2021/vn21-48. — Текст
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Year 2026 | 7 | 0 | 5 | 0 | 12 |
| Total | 7 | 0 | 5 | 0 | 12 |