Details
| Title | Разработка технологической установки атомного-слоевого осаждения с источником микроволновой плазмы: научный доклад: направление подготовки 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» ; направленность 11.06.01_03 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» |
|---|---|
| Creators | Березенко Владимир Игоревич |
| Scientific adviser | Александров Сергей Евгеньевич |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2024 |
| Collection | Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция |
| Subjects | Плазма (физ.); Компьютерное моделирование; технологическое оборудование; атомно-слоевое осаждение; сурфатрон; process tool; semiconductor equipment; atomic layer deposition; surfatron |
| UDC | 533.9; 004.94 |
| Document type | Scientific report |
| File type | Other |
| Language | Russian |
| Level of education | Graduate student |
| Speciality code (FGOS) | 11.06.01 |
| Speciality group (FGOS) | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| Rights | Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141 |
| Additionally | New arrival |
| Record key | ru\spstu\vkr\33994 |
| Record create date | 12/5/2024 |
В представленной работе показана разработка технологического оборудования для процессов атомно-слоевого осаждения с применением СВЧ источника плазменного разряда на поверхностной волне. Даны общие сведения о технологическом оборудовании такого класса. Продемонстрированы результаты численного моделирования газодинамики в реакторе установки для различных разрядных трубок плазменного источника. Предложена оригинальная конструкция разрядной трубки с газораспределителем душевого типа.
In the given work the development of process tool for atomic layer deposition is presented. General overview of process equipment of such class is given. The results of computational fluid modelling of tool’s reactor is shown for various types of discharge tubes used with microwave plasma source. The original design of discharge tube with closed-type showerhead for uniform gas distribution is suggested.
