Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Разработка технологической установки атомного-слоевого осаждения с источником микроволновой плазмы: научный доклад: направление подготовки 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» ; направленность 11.06.01_03 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»

Creators	Березенко Владимир Игоревич
Scientific adviser	Александров Сергей Евгеньевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2024
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Плазма (физ.); Компьютерное моделирование; технологическое оборудование; атомно-слоевое осаждение; сурфатрон; process tool; semiconductor equipment; atomic layer deposition; surfatron
UDC	533.9; 004.94
Document type	Scientific report
File type	Other
Language	Russian
Level of education	Graduate student
Speciality code (FGOS)	11.06.01
Speciality group (FGOS)	110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Rights	Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141

1