Details
| Title | Магнетронные распылительные системы: учебное пособие. 1. Устройство, принципы работы, применение |
|---|---|
| Creators | Духопельников Д. В. |
| Imprint | Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014 |
| Collection | ЭБС "Университетская библиотека ONLINE" ; Общая коллекция |
| UDC | 621.793:537.525(075.8) |
| LBC | 32.848.4 |
| Document type | Other |
| Language | Russian |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | BIBLIOCLUB\0000258467 |
| Record create date | 6/23/2025 |
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Access count: 66
Last 30 days: 13
