Details
| Title | Техническая механика микросистем. — 4-е изд. |
|---|---|
| Creators | Тимофеев В. Н.; Погалов А. И.; Угольников С. В.; Андрианов А. М.; Панкратов О. В. |
| Imprint | Москва: Лаборатория знаний, 2015 |
| Collection | ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция |
| Subjects | Микроэлектроника; Механика |
| UDC | 621.38.049.77; 531 |
| Document type | Tutorial |
| File type | Other |
| Language | Russian |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\IBOOK\books\350089 |
| Record create date | 7/27/2020 |
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
Access count: 68
Last 30 days: 2
