Electronic Documents Search

Documents found: 4

1

Разработка и исследование многокристальных микросистем на основе модульной трехмерной интеграции кристаллов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 1. — С. 98-107

Creators	Чугунов Е. Ю.; Тимошенков С. П.; Погалов А. И.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Радиоаппаратура; Энергетика; Детали и узлы электрических аппаратов; многокристальные микросистемы; разработка многокристальных микросистем; интеграция кристаллов; трехмерная интеграция кристаллов; модульная интеграция кристаллов; электронные компонентные базы; конечно-элементное моделирование; multicrystalline microsystems; development of multi-chip microsystems; crystal integration; three-dimensional crystal integration; modular crystal integration; electronic components of base; finite element modeling
UDC	621.396.6; 621.3
LBC	31.844; 31.264-04
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-1-98-107
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=61486469

Исследование конструкторско-технологических особенностей пространственной сборки и монтажа функционального микромодуля // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 3. — С. 281-289

Creators	Титов А. Ю.; Погалов А. И.; Тимошенков С. П.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Радиоэлектроника в целом; микромодули; функциональные микромодули; монтаж функциональных микромодулей; пространственная сборка микромодулей; конструкторско-технологические особенности; термомеханическая прочность; защита от внешних воздействий; micromodules; functional micromodules; installation of functional micromodules; spatial assembly of micromodules; design and technological features; thermomechanical strength; protection from external influences
UDC	621.37/39
LBC	32
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-3-281-289
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67881703

Управление составом тонких пленок Mo-Si-N-O при реактивном магнетронном распылении // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 6. — С. 745-761

Creators	Громов Д. Г.; Гаврилов С. А.; Лебедев Е. А.; Силибин М. В.; Дубков С. В.; Аникин А. В.; Погалов А. И.; Дронова Д. А.; Бутманов Д. Д.; Ширяев М. Е.; Громов В. Д.; Рязанов Р. М.; Шарипов Р. А.; Беспалов В. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; тонкие пленки; состав тонких пленок; управление составом пленок; магнетронное распыление; реактивное распыление; фазосдвигающие фотошаблоны (физика); нитридизация; thin films; composition of thin films; film composition control; magnetron sputtering; reactive sputtering; phase-shifting photomasks (physics); nitridization
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-6-745-761
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172126

Техническая механика микросистем. — 4-е изд.

Creators	Тимофеев В. Н.; Погалов А. И.; Угольников С. В.; Андрианов А. М.; Панкратов О. В.
Imprint	Москва: Лаборатория знаний, 2015
Collection	ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Subjects	Микроэлектроника; Механика
UDC	621.38.049.77; 531
Document type	Tutorial
File type	Other
Language	Russian
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350089

1