Details

Title: Разработка и исследование перфорированных структур для газовых электронных умножителей на базе фольгированных полиимидных пленок // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – С. 326-336
Creators: Касумов Ю. Н.; Пухаева Н. Е.; Мовчан С. А.; Гончаров И. Н.; Урумов В. В.
Imprint: 2023
Collection: Общая коллекция
Subjects: Энергетика; Детали и узлы электрических аппаратов; Техника; Материаловедение; электронные умножители; газовые электронные умножители; перфорированные структуры (электроника); полиимидные пленки; фольгированные пленки; фотолитография; химическое травление; electronic multipliers; gas electronic multipliers; perforated structures (electronics); polyimide films; foil films; photolithography; chemical etching
UDC: 621.3; 620.1/2
LBC: 31.264-04; 30.3
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.24151/1561-5405-2023-28-3-326-336
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\71217

Allowed Actions: View

Annotation

В последние десятилетия возросли требования к координатным детекторам по таким параметрам, как пространственное и временное разрешение, загрузочная способность, радиационная стойкость, возможность получения детекторов большой площади. Этим требованиям в значительной степени удовлетворяет газовый электронный умножитель. В работе приведены результаты исследований изготовленных перфорированных структур для создания газовых электронных умножителей методом химического травления с использованием отечественных фольгированных полиимидных пленок. Показана возможность получения системы сквозных отверстий на фольгированных полиимидных пленках с адгезивным подслоем. Представлены результаты исследований электронной усилительной способности разработанных структур, проведенных с использованием специально изготовленной экспериментальной ячейки. Полученные образцы с размерами активной зоны 10 на 10 мм и с коэффициентом усиления более 200, типичным для структур с цилиндрическими каналами без диэлектрических колец, продемонстрировали свою работоспособность. Суммарная толщина диэлектрического слоя структур составляет около 100 мкм, диаметр отверстий равен 70 мкм с шагом 140 мкм.

In recent decades, the requirements for coordinate detectors have increased in terms of such parameters as spatial and temporal resolution, loading capacity, radiation resistance, and the possibility of obtaining large-area detectors. All these requirements are largely satisfied by the gas electronic multiplier. In this work, the results of research on the production of perforated structures necessary for gas electronic multipliers manufacturing by chemical etching using domestic foil-clad polyimide films, are presented. The possibility is shown of obtaining a system of through holes on foil-clad polyimide films with an adhesive sublayer. The results of studies of the electronic amplification capability of the obtained structures conducted using a specially manufactured experimental cell are presented. The obtained samples with active zone dimensions 10x10 mm and with amplification coefficient K >/= 200 typical for structures with cylindric channels without dielectric rings, have demonstrated their operational integrity. Cumulative thickness of the structures’ dielectric layer is about 10 mum, hole diameter is 70 mum at 140 mum intervals.

Usage statistics

stat Access count: 10
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics