Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Касумов Ю. Н.; Пухаева Н. Е.; Мовчан С. А.; Гончаров И. Н.; Урумов В. В. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Энергетика; Детали и узлы электрических аппаратов; Техника; Материаловедение; электронные умножители; газовые электронные умножители; перфорированные структуры (электроника); полиимидные пленки; фольгированные пленки; фотолитография; химическое травление; electronic multipliers; gas electronic multipliers; perforated structures (electronics); polyimide films; foil films; photolithography; chemical etching UDC 621.3; 620.1/2 LBC 31.264-04; 30.3 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-3-326-336 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011393