Details
| Title | Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца // Оптика и спектроскопия. – 2024. – Т. 132, № 1. — С. 42-46 |
|---|---|
| Creators | Ковалев М. С.; Подлесных И. М.; Баталов Р. И.; Сцепуро Н. Г.; Кудряшов С. И. |
| Organization | "Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023)", конференция |
| Imprint | 2024 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Физика; Физическая оптика; кремний; отжиг кремния; лазерный отжиг кремния; импульсный отжиг кремния; ионы марганца; имплантирование ионами марганца; имплантированный кремний; сверхлегирование |
| UDC | 535.2/3 |
| LBC | 22.343 |
| Document type | Article, report |
| File type | Other |
| Language | Russian |
| DOI | 10.61011/OS.2024.01.57547.13-24 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\73560 |
| Record create date | 9/2/2024 |
Описана методика импульсного лазерного отжига кремния, предварительно сверхлегированного атомами марганца с помощью ионной имплантации. Подобраны оптимальные режимы лазерного отжига, которые обеспечивали наилучшую кристалличность образцов. Проанализировано влияние импульсного лазерного отжига на некоторые оптические и структурные свойства сверхлегированных кремниевых пластин на основе спектров комбинационного рассеяния, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектров инфракрасного поглощения в диапазоне волновых чисел от 700 до 1300 cm{-1}.
Access count: 10
Last 30 days: 0
