Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Ковалев М. С.; Подлесных И. М.; Баталов Р. И.; Сцепуро Н. Г.; Кудряшов С. И.
Organization	"Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023)", конференция
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; кремний; отжиг кремния; лазерный отжиг кремния; импульсный отжиг кремния; ионы марганца; имплантирование ионами марганца; имплантированный кремний; сверхлегирование
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.61011/OS.2024.01.57547.13-24
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67211225