Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Лаздин Илья Александрович Scientific adviser Карасев Платон Александрович; Кондратьева А. С. Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2024 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects микроэлектромеханические системы; газовые датчики; металооксидные пленки; оксид никеля; золотые наночастицы; тонкие пленки; магнетронное распыление; полупроводниковые сенсоры; microelectromechanical systems; gas sensors; metal oxide films; nickel oxide; gold nanoparticles; thin films; magnetron spraying; semiconductor sensors Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 16.04.01 Speciality group (FGOS) 160000 - Физико-технические науки и технологии DOI 10.18720/SPBPU/3/2024/vr/vr24-6289 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf